EddyCus® inline 在线方块电阻测试传感器

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简介：

EddyCus® inline 系列可在各类基材上非接触式测量导电层的关键特性参数，包括方块电阻、金属层厚度、发射率、残余水分及面密度等。适用基材包括玻璃、箔材、纸张、晶圆、塑料及陶瓷等。

系统可通过连续测量或触发事件模式进行监测，在高速涂布工艺中获取等间距的测量数据。监测方案适用于常压和真空环境。基于涡流技术的工艺可实现极高的采样速率。测量结果可通过客户自有软件对接过程控制系统。此外，SURAGUS 还提供专用监测软件 EddyCus® EC Control，用于计量数据的可视化、存储与分析。

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产品特点

EddyCus® inline在线监测系统采用非接触电涡流原理测量各种导电材料基质的属性，如金属层厚度、片材电阻、辐射率、残留水分或克重等。监测是通过持续测量或通过触发来完成的，以便在快速移动的涂布过程中检测。可视化软件实时展示、存储和分析，并通过软件反馈给过程控制系统实现在线监测。该监测解决方案适用于常规或真空环境，适合于场合定制。

其特点是：

极快的 / 高采样率（1k采样 / 秒）。

非接触和非破坏性的

良好的自动化兼容能力

高灵敏度

基本配置

测量技术	非接触式涡流传感器
基材	晶锭、晶片、箔、玻璃等。
测量间隙尺寸	3 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 毫米（其他应要求提供）
传感器对数/监控通道	1 – 99
传感器尺寸（宽 x 长 x 高），单位为 mm	传感器 M：80 x 100 x 66 传感器 S：34 x 48 x 117
导电层	金属/TCOs/CNTs/纳米线/石墨烯/网格/PEDOT/其他
金属薄膜的厚度测量（例如铝、银等）	1 nm – 2 mm（根据薄层电阻）
其他综合测量	金属厚度/透光率/密度/各向异性
环境	Ex-vacuo / in-vacuo @ T < 60°C / 140°F（根据要求更高）
采样率	每秒 1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量
硬件触发	5 / 12 / 24 伏
接口	UDP、.Net 库、TCP、Modbus、模拟/数字
	VLSR	LSR	MSR	HSR
范围 [欧姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.01 – 10	0.1 – 100	10 – 2,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%
重复性 (2σ)			< 0.3%	< 0.5%