EddyCus® ResMapper 是一款全自动晶圆成像设备(全自动型),配备自动盒式处理系统,用于晶圆基板或涂层的全面积表征,确保半导体行业的工艺可靠性和质量保证。
系统配备了两个非接触式涡流传感器,运行于传输模式。这使得基底材料或导电涂层的均匀性能够被详细展示。